انجمن حفاظت در برابر اشعه ایران مجله سنجش و ایمنی پرتو 23225971 2 4 2013 11 22 A comparative study of depth profiling of oxygen in nanoporous anodic alumina by nuclear reaction analysis and 16O(α,α)16O resonant elastic scattering مقایسۀ دو روش برهم‌کنش هسته‌ای و پراکندگی تشدیدی برای اندازه‏گیری نمایۀ عمقی اکسیژن در آلومینای نانو متخلخل 41 46 112119 10.22052/1.4.41 FA منیجه رحیمی دانشگاه کاشان محمد ترکیهای اصفهانی دانشگاه کاشان امید رضا کاکویی سازمان انرژی اتمی ایران وحید فتح اللهی سازمان انرژی اتمی ایران Journal Article 2022 08 21 Depth profiling of Oxygen in the surface of materials is important for many oxide elements. In this research two methods of ion beam analysis techniques were used for depth profiling of oxygen in nanoporous anodic Alumina by Nuclear Reaction Analysis (NRA) ( 16O(d, p1)17O ,16O(d, p0)17O) and resonant elastic scattering (RES)( 16O(α, α)16O). By using simulation software, variation of oxygen concentration was revealed in depth. The results show that the RES method has a good resolution but could not penetrate more than few micrometers and NRA method (d, p) analyzes oxygen in the deeper depth of sample but by lees resolution. Sharp resonance cross section outcomes more resolution in depth profiling of Oxygen in the RES method. شناسایی و تعییین نمایۀ عمقی اکسیژن در سطح مواد، لایه‌های نازک و به‌ویژه در کاربردهای صنعتی که با طیف گسترده‌ای از اکسیدها استفاده می‌شود، بسیار ضروری است. در این بررسی، از دو روش آنالیز با باریکۀ یونی (IBA)، یعنی پراکندگی الاستیک تشدیدی (RES) برای اکسیژن (16O(α, α)16O) و واکنش هسته‌ای (16O(d, p1)17O و 16O(d, p0)17O)، برای به‌دست‌آوردن نمایۀ عمقی غلظت اکسیژن در آلومینای آندی نانوحفره استفاده شد. با استفاده از نرم‌افزار های موجود، طیف‌های حاصل از آزمایش شبیه‌سازی شدند و مشخص شد که حداکثر عمق اندازه‌گیری اکسیژن به‌دست‌آمده از روشRES ، اگرچه کمتر از واکنش هسته‌ای (d,p) است، دقت این روش بسیار بالاتر است. این حساسیت بالا به‌دلیل قله تیز سطح مقطع تشدیدی است که باعث تفکیک‌پذیری عمقی خیلی خوب می‌شود و برای آنالیزهای دقیق، از اهمیت بسیار بالایی برخوردار است. https://rsm.kashanu.ac.ir/article_112119_d517f947ba5724c7ca2c6829dc7dd6ad.pdf